洁净机器人关键技术——川崎机器人

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 川崎/Kawasaki

洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。随着出产技能水平不断进步,其对出产环境的要求也日益严苛,很多现代工业产品出产都要求在洁净环境进行,洁净机器人是洁净环境下出产需要的关键设备。

                              

  关键技能包括:

  (1)洁净润滑技能:经过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂,完成对环境无颗粒污染,满足洁净要求。

  (2)高速平稳操控技能:经过轨道优化和进步关节伺服性能,完成洁净搬运的平稳性。

  (3)操控器的小型化技能:依据洁净室建造和运营本钱高,经过操控器小型化技能减小洁净机器人的占用空间。

  (4)晶圆检测技能:经过光学传感器,可以经过机器人的扫描,获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息。

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