YASKAWA/安川 SEMISTAR-VD95D搬运机器人 本体质量:1500kg

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: YASKAWA/安川

  • 品牌:
    YASKAWA/安川
    产地:
    日本
    价格:
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    货期:
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    型号:
    SEMISTAR-VD95D
    产品简介
    YASKAWA/安川 SEMISTAR-VD95D搬运机器人 本体质量:1500kg,负载:95KG/手臂。
产品介绍说明
简介:适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人,用途:搬运、洁净室,采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。

  特点

  大动作范围:最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。

  手臂采用连杆机构实现高钢性。

  采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。

  手臂可内置基板传感器用配线。

  参数

  名称:SEMISTAR-VD95D

  机型:XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆)

  构造:水平多关节形(4个自由度)

  动作范围

  L,R轴(伸缩):2300mm

  S轴(旋转):-170°——+170°

  U轴(升降):150mm

  动作时间*1(最高速度运作时)

  L,R轴(伸缩):3.2秒以下        备注:2300mm伸缩距离

  S轴(回转):3.8秒以下        备注:340deg旋转距离(但L,R=0)

  U轴(升降):2.5秒以下        备注:150mm升降距离

  重复定位精度*2:各轴±0.3mm        备注:抓手安装部分中心位置时

  手臂抖动精度:±0.3mm以下        备注:水平方向,抓手安装部分中心位置时

  负载:95KG/手臂        备注:含抓手重量

  容许惯性力矩(CD2/4):最大118kg·m2        备注:含抓手重量,抓手安装部分中心位置时

  耐真空度:1*10-6Pa

  本体质量:1500kg

  适用控制柜式样:ERDR-VD0095D-A00        备注:三相AC200V,3.0kVA

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