YASKAWA/安川 SEMISTAR-VD95D搬运机器人本体质量：1500kg

简介：适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人，用途：搬运、洁净室，采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。

　　特点

　　大动作范围：最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。

　　手臂采用连杆机构实现高钢性。

　　采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。

　　手臂可内置基板传感器用配线。

　　参数

　　名称：SEMISTAR-VD95D

　　机型：XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆)

　　构造：水平多关节形(4个自由度)

　　动作范围

　　L，R轴(伸缩)：2300mm

　　S轴(旋转)：-170°——+170°

　　U轴(升降)：150mm

　　动作时间*1(最高速度运作时)

　　L，R轴(伸缩)：3.2秒以下备注：2300mm伸缩距离

　　S轴(回转)：3.8秒以下备注：340deg旋转距离(但L，R=0)

　　U轴(升降)：2.5秒以下备注：150mm升降距离

　　重复定位精度*2：各轴±0.3mm 备注：抓手安装部分中心位置时

　　手臂抖动精度：±0.3mm以下备注：水平方向，抓手安装部分中心位置时

　　负载：95KG/手臂备注：含抓手重量

　　容许惯性力矩(CD2/4)：最大118kg·m2 备注：含抓手重量，抓手安装部分中心位置时

　　耐真空度：1*10-6Pa

　　本体质量：1500kg

　　适用控制柜式样：ERDR-VD0095D-A00 备注：三相AC200V，3.0kVA

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