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新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载:<500g

发布时间:2022-10-13 14:08:01|来源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    产地:
    沈阳
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    PHOENIX-S25
    产品简介
    新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载:<500g,适用晶圆尺寸:300mm/200mm/150mm/100mm。
产品介绍说明
简介:直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。
  参数

  本体重量:50KG

  适用晶圆尺寸:300mm/200mm/150mm/100mm

  负载:<500g

  电源输入:AC电压:AC208V   AC频率:50HZ/60HZ

  电源范围 电压波动范围:单相交流208V +10%,-15%

  节拍:R axis<3(Home to Extend703mm)θ axis<2.5s(180°)(根据实际摩擦力) Z   axis<1.8s(90mm)

  重复定位精度:Z:   ±0.05mm(3σ)T:   ±0.003°(3σ)R:   ±0.05mm(3σ)

  漏率:<   1 x 10-9 std. cc/sec He

  真空度:5X10-9Torr

  适用温度:法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

  行程:R轴703mm   Z轴90mm

  洁净度:ISO   CLASS1

  MCBF:>11million   cycles

  复合运动:支持

  PC远程操作软件:支持

  通信接口:Ethernet/串口

  IO互锁:支持

  安全区:支持

  碰撞保护:支持

  我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理,为客户提供优质的产品和满意的服务。

  本文介绍了新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载:<500g产品,如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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