新松/SIASUN IC STOCKER洁净机器人 速度:120°/sec

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    产地:
    沈阳
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    IC STOCKER
    产品简介
    新松/SIASUN IC STOCKER洁净机器人 速度:120°/sec,有效负载:10kg。
产品介绍说明
简介:用于IC行业FOUP自动化搬送、存储,实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计,可使洁净度达到ISO Class4等级要求;带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能,有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失;全新的系统运动逻辑规划,提高产品搬送效率;标准的SEMI软件接口,可以方便对接面板厂MCS系统,可实时上报系统各种状态数据,实现工厂智能管理;可以根据客户应用的特殊要求,定制设备功能及尺寸。
  参数

  设备:IC Stocker

  运动轴:行走 / 提升/ 旋转/ 叉取

  有效负载:10kg

  控制:PLC+PC

  电源供应:VAC   220V±10%

  电机:伺服电机

  行走

  驱动:齿轮齿条+减速机+电机

  速度:2.2m/s

  提升

  驱动:电机减速机+同步带+带轮

  速度:1.75m/s

  旋转

  驱动:电机+同步带+减速机

  速度:120°/sec

  叉取

  驱动:电机减速机+同步带+带轮

  上/下料时间:4.8s

  叉取FOUP精度:±0.5mm

  我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理,为客户提供优质的产品和满意的服务。

  本文介绍了新松/SIASUN  IC STOCKER洁净机器人 速度:120°/sec产品,如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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