新松/SIASUN真空机械手SRBZ820C-SMSX/G重量：1.5kg

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

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型号:
SRBZ820C-SMSX/G

产品简介
新松/SIASUN真空机械手SRBZ820C-SMSX/G重量：1.5kg，漏率：＜1×10-9 std.cc/sec He

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：采用耐高温手指有隔热设计，可用于放置高温托盘，短时间耐高温300℃以上。指部腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度，加大热阻。具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆,减少用户误操作导致的各种损失。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能.带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸,耐高温耐腐蚀特性等。

　　参数

　　型号：SRBZ820C-SMSC/G

　　密封方式：磁流体密封

　　自由度数：2

　　负载

　　名称：托盘

　　直径：Φ330mm

　　重量：1.5kg

　　最大运动范围

　　R轴（mm）：立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

　　θ轴（°）：360

　　全行程最小时间

　　R轴（s）：2.5

　　θ轴（s）：4.8

　　重复定位精度

　　θ轴（°）：±0.01（3σ）

　　R轴（mm）：±0.1（3σ）

　　重量

　　机械手本体：41kg

　　控制器：15kg

　　耐真空度 (Pa)：＜5×10-9 Torr

　　漏率：＜1×10-9 std.cc/sec He

　　碰撞保护：盘片和机械手无损伤

　　隔热设计：指部隔热块

　　承载温度：工艺环境300℃

　　行程：820mm

　　电源范围电压波动范围：单相交流208V +10%，-15%

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN真空机械手SRBZ820C-SMSX/G重量：1.5kg产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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