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新松/SIASUN 大气机械手Blade-SD210 行程:670mm

发布时间:2022-10-25 16:00:13|来源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    产地:
    沈阳
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    Blade-SD210
    产品简介
    新松/SIASUN 大气机械手Blade-SD210 行程:670mm,伸展轴 (R1、R2):±0.1 mm(3σ)
产品介绍说明
简介:耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构,具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计,手指及接口用户可定制,网络化控制系统,高效率传片和碰撞保护功能,SEMI认证S2、F47,MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。
  参数

  结构形式:柱坐标型/SCARA型

  负载

  名称:晶圆

  直径:2寸/4寸/6寸/8寸/12寸

  重量:≤0.5kg

  自由度数:5

  手数量:2

  最大回转直径:580mm

  运动范围

  升降轴 (Z轴):450mm

  回转轴 (T轴) :270°

  伸展轴 (R):R670mm

  节拍

  升降轴 (Z轴):<1s(Home to Fullextension)

  回转轴 (T轴):0.7s/180°

  伸展轴 (R1、R2) :1.2s/450mm

  重复定位精度

  升降轴 (Z轴):±0.1 mm(3σ)

  回转轴 (T轴) :±0.006°(3σ)

  伸展轴 (R1、R2):±0.1 mm(3σ)

  洁净度:CLASS 1

  主机重量:60 kg

  电源:208VAC(50Hz/60Hz)

  行程:670mm

  我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理,为客户提供优质的产品和满意的服务。

  本文介绍了新松/SIASUN 大气机械手Blade-SD210 行程:670mm产品,如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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