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川崎/Kawasaki洁净机器人TTS系列 重复性±0.1mm

发布时间:2021-4-12 10:06:03|来源: 川崎/Kawasaki

  • 品牌:
    川崎/Kawasaki
    产地:
    日本
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    TTS系列
    产品简介
    川崎/Kawasaki洁净机器人TTS系列采用了上下轴伸缩式的结构,因此无论是想将物品搬至高处或是低处,此设备都能做到。
产品介绍说明
简介:TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分,能够实现高精度、高刚性的动作。 同时,由于采用了上下轴伸缩式的结构,因此无论是想将物品搬至高处或是低处,此设备都能做到。

                                川崎/KawasakiTTS系列

  产品特点

  原样保留了可支持3FOUP的NTS系列的特征。

  上下轴采用川崎独有的伸缩式结构,可向最低位置和最高位置搬运。

  符合SEMI-F47标准。

  符合SEMI-S2标准。充分考虑环境和安全性。

  产品参数

  型号:TTS10/TTS20

  构造:水平多关节型、伸缩水平多关节型

  臂:单手臂/双手臂

  自由度(轴):4/5

  动作范围

  θ1轴 :(旋转・JT2) (°):340

  Z轴 (上下・JT3) (㎜):740

  θ2轴 (旋转・JT4) (°):340

  H1轴 (旋转・JT6) (°):340

  H2轴( 回転・JT7) (°):-/340

  最大臂展 (mm):1,066

  重复性 (mm)✽1:±0.1 (晶圆中心)

  无尘度✽2:ISO1级

  控制柜

  D60:示教器

  分离电缆(1-5m)✽4:操作盒

  公司尊崇“踏实、拼搏、责任”的企业精神,并以诚信、共赢、开创经营理念,创造良好的企业环境,以全新的管理模式,完善的技术,周到的服务,卓越的品质为生存根本。我们始终坚持:用户至上,用心服务于客户,坚持用自己的服务去打动客户。始终秉承“诚信、、共赢”的经营理念,靠优利的价格,过硬的质量, 快捷的货期及的售前咨询、售后服务赢得广大客户的信任。

  本文介绍了川崎/Kawasaki洁净机器人TTS系列 重复性±0.1mm产品,如果您对川崎/Kawasaki机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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