川崎/Kawasaki洁净机器人NTS系列臂展1066mm

发布时间：2021-4-12 09:54:33|来源：川崎/Kawasaki

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品牌:
川崎/Kawasaki

产地:
日本

价格:
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货期:
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型号:
NTS系列

产品简介
川崎/Kawasaki洁净机器人NTS系列仅使用一台机器人，且无需行走设备，即可支持从2FOUP到3FOUP的EFEM。符合SEMI-F47标准。

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。

川崎/KawasakiNTS系列

　　产品特点

　　仅使用一台机器人，且无需行走设备，即可支持从2FOUP到3FOUP的EFEM。

　　高精度和平稳运动。通过川崎独有的驱动装置实现了高精度和高刚性的操作。

　　符合SEMI-F47标准。

　　符合SEMI-S2标准。充分考虑环境和安全性。

　　产品参数

　　型号：NTS10/NTS20

　　构造：水平多关节型

　　臂：单手臂/双手臂

　　自由度 (轴)：4/5

　　动作范围：

　　θ1轴 (旋转・JT2) (°)：340

　　Z轴 (上下・JT3) (㎜)：470

　　θ2轴 (旋转・JT4) (°)：340

　　H1轴 (旋转・JT6)(°)：340

　　H2轴 (回転・JT7) (°)：-/340

　　最大臂展 (mm)：1,066

　　重复性 (mm)✽1：±0.1 (晶圆中心)

　　无尘度✽2：ISO1级

　　控制柜

　　D60 ：示教器

　　分离电缆 (1-5m)✽4 ：操作盒

　　公司尊崇“踏实、拼搏、责任”的企业精神，并以诚信、共赢、开创经营理念，创造良好的企业环境，以全新的管理模式，完善的技术，周到的服务，卓越的品质为生存根本。我们始终坚持：用户至上，用心服务于客户，坚持用自己的服务去打动客户。始终秉承“诚信、、共赢”的经营理念，靠优利的价格，过硬的质量, 快捷的货期及的售前咨询、售后服务赢得广大客户的信任。

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