YASKAWA/安川SEMISTAR-MR124搬运用机器人 质量:66kg

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: YASKAWA/安川

  • 品牌:
    YASKAWA/安川
    产地:
    日本
    价格:
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    货期:
    请联系客服
    型号:
    SEMISTAR-MR124
    产品简介
    YASKAWA/安川SEMISTAR-MR124搬运用机器人 质量:66kg,驱动轴数:5轴,手臂类型:单臂。
产品介绍说明
简介:适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。半导体晶片搬运用机器人
  特点

  大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。

  高速搬运:300枚/小时

  适用:300mm-450mm晶片搬运

  参数

  机械臂

  适用晶体尺寸:300mm(450m)*1

  晶体把持方式:真空吸附夹具或边缘夹具

  标准边缘效应器长*2:对应345mm@300mm的晶体

  驱动轴数:5轴

  手臂类型:单臂

  动作范围

  R轴伸缩*3:1215mm

  θ轴回旋:330°

  Z轴升降:480mm

  B轴回转:440°

  最小回转半径*2:510mm

  最快速度*2

  伸缩:260°/s

  回旋:330°/s

  升降:550mm/s

  B轴回转:350°/s

  线性:2000mm/s

  重复定位精度*2:0.1mm(P-P)

  质量:66kg

  位置调整器

  适用晶体尺寸:300mm

  晶体把持方式:真空吸附夹具

  检出对象:凹槽

  晶体材质:珪素*4

  晶体边缘检出传感器:LED + CCD线性传感器

  动作范围:回旋:无限制

  最快速度(加速/减速时间):回旋:1000°/s(0.1s/0.1s)

  LINEMENT精度:±0.03°

  LINEMENT时间:1.7秒以下

  质量:5.8kg

  设置环境

  洁净等级*5:ISO等级1

  使用温度·湿度:20——30℃,35——55%RH(不结露)

  保管温度·湿度:0——40℃,35——80%RH(不结露)

  标高:表高1000m以下

  环境:无爆炸性,腐蚀性,可燃性气体

  MCBF:1500次循环以上

  本文介绍了YASKAWA/安川SEMISTAR-MR124搬运用机器人 质量:66kg产品,如果您对YASKAWA/安川机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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