新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm

发布时间：2022-10-19 16:55:46|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

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货期:
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型号:
真空机械手Titan1500C

产品简介
新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm，电源:208VAC(50Hz/60Hz)。

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品，大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到12kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。

　　参数

　　结构形式：柱坐标型/SCARA型

　　驱动方式：伺服电机

　　手数量：单臂

　　负载

　　名称：托盘

　　直径:Φ716mm

　　重量:≤12kg

　　自由度数:3

　　手臂长度:355mm

　　手指长度（安装中心至硅片中心）:810mm

　　运动范围

　　R轴R-:≤1500mm

　　θ轴θ-:无限回转

　　Z轴Z-:150mm

　　全行程最小时间

　　R轴R-:＜27.8s（Home to Extend 1500mm）

　　θ轴θ-:＜15s(180°)

　　Z轴Z-:13s（150mm）

　　重复定位精度

　　R轴:±0.2mm

　　θ轴:±0.2mm

　　Z轴:±0.2mm

　　最小回转半径:762.5mm

　　下垂量:5mm

　　真空度:＜5×10-9 Torr

　　漏率:＜1×10-9 std.cc/sec He

　　电源:208VAC(50Hz/60Hz)

　　电源范围电压波动范围:单相交流208V +10%，-15%

　　通信接口:Ethernet

　　重量:195kg

　　行程:1500mm

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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