新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    产地:
    沈阳
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    真空机械手Titan1500C
    产品简介
    新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm,电源:208VAC(50Hz/60Hz)。
产品介绍说明
简介:Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品,大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送,具有真空度高,传输效率高,负载能力强,耐高温等特点,大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率,是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,创新了其传输结构和控制规律,使其能够达到12kg的负载能力,同时保持很小的占用体积,保持高耐真空度及洁净等级。
  参数

  结构形式:柱坐标型/SCARA型

  驱动方式:伺服电机

  手数量:单臂

  负载

  名称:托盘

  直径:Φ716mm

  重量:≤12kg

  自由度数:3

  手臂长度:355mm

  手指长度(安装中心至硅片中心):810mm

  运动范围

  R轴R-:≤1500mm

  θ轴θ-:无限回转

  Z轴Z-:150mm

  全行程最小时间

  R轴R-:<27.8s(Home to Extend 1500mm)

  θ轴θ-:<15s(180°)

  Z轴Z-:13s(150mm)

  重复定位精度

  R轴:±0.2mm

  θ轴:±0.2mm

  Z轴:±0.2mm

  最小回转半径:762.5mm

  下垂量:5mm

  真空度:<5×10-9   Torr

  漏率:<1×10-9   std.cc/sec He

  电源:208VAC(50Hz/60Hz)

  电源范围 电压波动范围:单相交流208V +10%,-15%

  通信接口:Ethernet

  重量:195kg

  行程:1500mm

  我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理,为客户提供优质的产品和满意的服务。

  本文介绍了新松/SIASUN  真空机械手Titan1500C  行程:1500mm产品,如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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