新松/SIASUN真空机械手PHOENIX-B系列负载：1KG

发布时间：2022-11-14 17:38:07|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

价格:
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型号:
PHOENIX-B系列

产品简介
新松/SIASUN真空机械手PHOENIX-B系列负载：1KG，电源输入：AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。

　　参数

　　本体重量：50KG

　　适用晶圆尺寸：300mm/200mm/150mm/100mm

　　负载：1KG

　　电源输入：AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ

　　节拍：8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料，传输位置不同相关)

　　动态偏差纠正精度：±0.1mm

　　重复定位精度：Z: ±0.05mm（3σ），T: ±0.003°（3σ），R: ±0.05mm（3σ）

　　漏率：< 1 x 10-9 std. cc/sec He

　　真空度：5X10-9Torr

　　适用温度：法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

　　洁净度：ISO CLASS1

　　MCBF：>11million cycles

　　复合运动：支持Support

　　PC远程操作软件：支持Support

　　通信接口：Ethernet/串口serial interface

　　IO互锁：支持Support

　　安全区：支持Support

　　碰撞保护：支持Support

　　认证：SEMI S2 /SEMI F47/CE

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN真空机械手PHOENIX-B系列负载：1KG产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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