新松/SIASUN真空机械手PHOENIX-B系列 负载:1KG

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    产地:
    沈阳
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    PHOENIX-B系列
    产品简介
    新松/SIASUN真空机械手PHOENIX-B系列 负载:1KG,电源输入:AC电压:AC208V AC频率:50HZ/60HZ
产品介绍说明
简介:直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。
  参数

  本体重量:50KG

  适用晶圆尺寸:300mm/200mm/150mm/100mm

  负载:1KG

  电源输入:AC电压:AC208V   AC频率:50HZ/60HZ

  节拍:8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料,传输位置不同相关)

  动态偏差纠正精度:±0.1mm

  重复定位精度:Z: ±0.05mm(3σ),T: ±0.003°(3σ),R: ±0.05mm(3σ)

  漏率:< 1 x 10-9 std. cc/sec He

  真空度:5X10-9Torr

  适用温度:法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

  洁净度:ISO CLASS1

  MCBF:>11million cycles

  复合运动:支持Support

  PC远程操作软件:支持Support

  通信接口:Ethernet/串口serial interface

  IO互锁:支持Support

  安全区:支持Support

  碰撞保护:支持Support

  认证:SEMI S2 /SEMI   F47/CE

  我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理,为客户提供优质的产品和满意的服务。

  本文介绍了新松/SIASUN真空机械手PHOENIX-B系列 负载:1KG产品,如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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