新松/SIASUN TTS-2000 EFEM洁净机器人温度：≤200℃

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

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型号:
TTS-2000 EFEM

产品简介
新松/SIASUN TTS-2000 EFEM 洁净机器人，温度：≤200℃，搬送精度（Alignment精度）：±0.1mm。

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：EFEM是一个晶圆前端传输设备，是一个与SEMI标准兼容的界面系统，可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制，充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小，采用带外部轴的双臂机械手，通过双轴复合运动实现取放片，极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构，保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别，保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护，从软件到硬件，多重保证晶圆传输过程中的安全，人员与设备的安全。

　　参数

　　材质尺寸：200mm/300mm wafer

　　Alignment Mark：Notch/ Flat

　　厚度：标准wafer

　　温度：≤200℃

　　与传送片接触处的材质：陶瓷

　　片盒规格（类型、厂家、段数、段间距等）：Foup/Adaptor

　　AMHS（自动物料搬送系统）要求：OHT

　　搬送精度（Alignment精度）：±0.1mm

　　Particle Spec：ISO Class 1

　　Throughput：>100wfrs/h

　　Stage数（LP数）：2

　　Load Lock

　　Stage数（LL）：2

　　位置（XYZ）：两个LL

　　Wafer放置精度　X-Y：±0.1mm

　　Wafer放置角度精度：/

　　Foot Print

　　Ｗ：≤2100

　　Ｄ：≤750

　　Ｈ：≤2500

　　整机设计参照标准：SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

　　软件界面设计参考标准：SEMI E30, E84

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN TTS-2000 EFEM洁净机器人温度：≤200℃产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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