基恩士×半导体行业 经典案例分享

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 基恩士/KEYENCE

在高速发展的半导体行业中,基恩士参与到晶圆生产的各段工艺,性能优异深受信赖。本期内容与您分享,基恩士传感器在半导体行业中的经典基础检测应用,

OHT搬运FOUP时 安全防护检测

方案: GL-S系列优势: 纤薄机身且自带安装支架,轻巧省空间。光轴对准简单,配备大型指示灯,安全状态实现一目了然!

载物台 晶圆有无检测

方案: FS-N41N+FU-96T优势: 高功率放大器可有效防止水滴引起的误检,配合氟树脂光纤外壳,有效防腐蚀。

晶圆涂布/显影光阻剂滴量管理

方案: FD-X系列

优势: 外夹式安装不必切管,没有污染问题,便捷且安全。同时可显示0.001m1的累积流量,便于管控剂量

扩散炉中晶圆突出检测

方案: GV-21+GV-H450优势: 支持通过透明视窗检测,反射型易于安装。单侧开窗即可。

AWC 晶圆定位检测
方案: FS-N41N+FU-79 /LV-NH62优势: 高灵敏度放大器,响应速度快,配合0.5mm小芯径光纤,稳定进行晶圆定位检测。如用激光型,LV系列 中1.5mm小光斑可达到1M检测距离。同轴结构激光传感器,可解决安装位置狭小的困扰。

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