基恩士×半导体行业经典案例分享

发布时间：2023-3-8 11:03:03|来源：基恩士/KEYENCE

在高速发展的半导体行业中，基恩士参与到晶圆生产的各段工艺，性能优异深受信赖。本期内容与您分享，基恩士传感器在半导体行业中的经典基础检测应用，

OHT搬运FOUP时安全防护检测

方案： GL-S系列优势：纤薄机身且自带安装支架，轻巧省空间。光轴对准简单，配备大型指示灯，安全状态实现一目了然！

载物台晶圆有无检测

方案： FS-N41N+FU-96T优势：高功率放大器可有效防止水滴引起的误检，配合氟树脂光纤外壳，有效防腐蚀。

晶圆涂布/显影光阻剂滴量管理

方案： FD-X系列

优势：外夹式安装不必切管，没有污染问题，便捷且安全。同时可显示0.001m1的累积流量，便于管控剂量

扩散炉中晶圆突出检测

方案： GV-21+GV-H450优势：支持通过透明视窗检测，反射型易于安装。单侧开窗即可。

AWC 晶圆定位检测

方案： FS-N41N+FU-79 /LV-NH62优势：高灵敏度放大器，响应速度快，配合0.5mm小芯径光纤，稳定进行晶圆定位检测。如用激光型，LV系列中1.5mm小光斑可达到1M检测距离。同轴结构激光传感器，可解决安装位置狭小的困扰。

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