奥托尼克斯压力传感器技术介绍

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：奥托尼克斯/Autonics

1、电容式电容式压力传感器通常受到大量OEM专业应用的清，测验两个外表之间的电容改变，使这些传感器能够感知到极的压力和真空水平。在我们典型的传感器装备中，紧凑的外克包含两个金属外表，金国表雨空间严密，平行，电顺离，其间一个本质上是一个，能够在压力下细微曲。为了改变组性之间的间院，安装了这些固定的外表(板(实际上形成了可变的电器)。经过敏感的线性比较器电路(或ASIC)检测到的高度改变。

　　2、CVD类型化学与相堆积域CVD")制作方法将多晶哇层粕附在分子水平的不锈钢博膜上，从而出产出具有优异长时间票移生能的传感，常用的批量半导体制作方法用于以非常合理的价创建功能优异的多晶硅应变电桥。CVD结构性价比极佳，是OEM应用中最受欢迎的传感器。

　　3、溅射膜类型-溅射膜堆积或"膜”)可创建线性、滞后性和可重复性最大的传感器。精确度可高达满量程的0.08%，而长时间漂移可低于每年满量程的0.06%。

　　4、MMS型一这些传感器康里做加工1MMSg来检测乐力改变、经过31SS漫离布流、与流体力应，不受个质影响。MMS传感器采学贝的半导体传造技能，能够现高压、良好的线性、优异的热冲击功能和紧凑传感器包装的稳定性。

　　5、高温玻璃粉烧结腔体反面的硅应变计选用微熔玻璃微技能，压力腔选用进口17-4PH不锈钢加工，无“0”圈、无焊缝、无泄漏危险.

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