新松/SIASUN 洁净机器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    产地:
    沈阳
    价格:
    请联系客服
    货期:
    请联系客服
    型号:
    SRBZ820C-SMSX
    产品简介
    新松/SIASUN 洁净机器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg,耐真空度(Pa):<5×10-9 Torr
产品介绍说明
简介:采用先进的磁流体密封技术,具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道高端设备中广泛应用,对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务,快速响应的售后服务,以及敦实的技术实力,是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。
  参数

  型号:SRBZ820C-SMSX

  密封方式:磁流体密封

  自由度数:2

  负载

  名称:托盘

  直径:Φ330mm

  重量:1.5kg

  最大运动范围

  R轴(mm):立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

  θ轴(°):360

  全行程最小时间

  R轴(s):2.5

  θ轴(s):4.8

  重复定位精度

  θ轴(°):±0.01(3σ)

  R轴(mm):±0.1(3σ)

  重量

  机械手本体:41kg

  控制器:15kg

  耐真空度(Pa):<5×10-9 Torr

  漏率:<1×10-9 std.cc/sec He

  碰撞保护:盘片和机械手无损伤

  行程:820mm

  电源范围 电压波动范围:单相交流208V +10%,-15%

  我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理,为客户提供优质的产品和满意的服务。

  本文介绍了新松/SIASUN 洁净机器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg产品,如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣,也请联系我们的客服,我们期待着您的来电,希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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