新松/SIASUN 洁净机器人SRBZ820C-SMSX 控制器：15kg

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

价格:
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货期:
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型号:
SRBZ820C-SMSX

产品简介
新松/SIASUN 洁净机器人SRBZ820C-SMSX 控制器：15kg，耐真空度(Pa)：＜5×10-9 Torr

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：采用先进的磁流体密封技术，具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道高端设备中广泛应用，对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务，快速响应的售后服务，以及敦实的技术实力，是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。

　　参数

　　型号：SRBZ820C-SMSX

　　密封方式：磁流体密封

　　自由度数：2

　　负载

　　名称：托盘

　　直径：Φ330mm

　　重量：1.5kg

　　最大运动范围

　　R轴（mm）：立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

　　θ轴（°）：360

　　全行程最小时间

　　R轴（s）：2.5

　　θ轴（s）：4.8

　　重复定位精度

　　θ轴（°）：±0.01（3σ）

　　R轴（mm）：±0.1（3σ）

　　重量

　　机械手本体：41kg

　　控制器：15kg

　　耐真空度(Pa)：＜5×10-9 Torr

　　漏率：＜1×10-9 std.cc/sec He

　　碰撞保护：盘片和机械手无损伤

　　行程：820mm

　　电源范围电压波动范围：单相交流208V +10%，-15%

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN 洁净机器人SRBZ820C-SMSX 控制器：15kg产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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