图尔克传感器技术

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源： TURCK/图尔克

1.电容式压力传感器通常受到很多OEM专业使用的喜爱，测验两外表之间的电容改动，使文些传感器能够感知到极低的压力和真空水平。在咱们典型的传感器配置中，紧凌的外壳包括两个金愿外表，金属外表空间严密，平行，电阻隔，其间一个本质上是一个周膜，能够在压力下轻做曲。为了改动组件之间的间院，安装了这些固定的外表(或板)(实际上形成了可变的电容器)。经过灵敏的线性比较器电路(或ASIC)检测到的高度改动

　　2.CVD类型一化学气相堆积或“CVD制作办法将多昆砖层北附在分子水平的不上，从而出产出具有优导长期移性的传感器，堂里的批量半导体制浩办法用王以非堂合理的价格创立功能优异的多晶硅应变电桥。CVD结构性价比极佳，是OEM使用中最受欢迎的传感器。

　　3.减射膜类型-溅射膜堆积域"”可创立线性、滞后性和可重复性最大的传感器，精确度可高达满量程的0.08%，而长期潭移可低于每年满量程的0.06%.-这些传感器使用微加工硅(MMS)温来检测压力改动，硅膜经过316SS离充油，与流体压力串联反响，不受个质影响。MMS传感器采用常见的半导体制作技能.

　　4.MMS类型能够完成高压，杰出的线性、优异的热冲击功能和紧凑传感器包装的稳定性.

　　5.高温玻璃粉烧结腔体背面的硅应变计采用微-玻璃微技能，力腔采用进口17-4PH不锈加工，无”圈，无提锋，无洲漏.

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