欧姆龙温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: Omron/欧姆龙

工艺介绍

  涂胶显影机是芯片制成光刻工艺段非常重要的设备,用于实现光刻胶的超薄胶膜。总共分为两个步骤:一、涂胶工艺:通过胶头将光刻胶滴到晶圆表面,真空吸盘吸住晶圆高速旋转进行匀胶。
  二、均胶完成后进行烘烤坚膜,通过加热盘使光刻胶中的有机溶剂挥发,生成光刻胶的超薄胶膜。
  1. 升温速度不统一以及温差波动,

  造成晶圆加热不均

  一旦加热盘存在加热不均的现象,可能使得光刻胶中的部分有机溶剂无法得到有效挥发,影响最终生成的胶膜品质。

  2. 人工调盘,过程复杂,耗费工时

  解决方案

  通过温度均一控制技术,

  实现高精度的均匀加热

  通过优化算法与MATLAB实现均匀加热的自动补偿算法(我们称之为温度均一控制技术),使各分区控温精度达到了±0.05℃,温度均一性达到了R=0.275。
  实验数据表明,可将温差控制为原有的1/5

  调整时间仅需2秒,

  完全替代人工调盘

  只需简单设定,即可实现整个空间或表面分布同一指定量。将原来需要人工调整的工作实现了全自动化,大幅减少人件费的投入,并降低了对熟练工的依赖。

  控制系统

  ● 机械自动化控制器 NJ / NX系列

  ● NX系列 EtherCAT连接器单元

  ● NX系列 温度输入单元

  ● NX系列 数字输出单元
  实现价值

  ● 控温精度:±0.05℃

  ● 温度均一性:R=0.275,其中R=Tmax-Tmin。

  ● 调整时间:2秒

  【经营层】

  ■ 在整个SEMI行业激烈的竞争环境下,此次温度均一控制技术在涂胶显影机的应用,打破了国外厂商的技术垄断,助力企业进一步提升行业地位。

  【管理层】

  ■ 温度控制精度的提升,完全建立在控制系统与程序的优化,无需更改机械结构和运动时间,导入时间更快且成本更低。

  ■ 通过优化算法,使各分区控温精度达到了±0.05℃,温度均一性达到了R=0.275,大幅提升了设备的性能指标与自动化水平。

  【工程师层】

  ■ 将原来需要人工调整的工作实现了全自动化,工程师可以释放双手,从事更具创造性、挑战性的工作。

  ■ 欧姆龙工程师全程参与指导,后期项目调整,只需自行修改参数即可。
来源:欧姆龙

更多相关内容
欧姆龙数字化×低碳化解决方案亮相工业自动化展区 欧姆龙数字化×低碳化解决方案亮相工业自动化展区

第五届中国国际进口博览会在上海精彩启幕。基于不断进化的制造理念“i-Automation!”打造的数字化和低碳解决方案在进博会这个重量级平台上与观众见面。   当前,全球碳中和大幕开启,在制造 ...

欧姆龙有哪些常见故障? 欧姆龙有哪些常见故障?

欧姆龙常见故障排除方法如下:   (一)外围电路元器件故障   此类故障在PLC维修中比较常见,一般是工作一定时间后的故障中经常发生。在PLC控制回路中如果出现元器件损坏故障,PLC控制系 ...

欧姆龙行程开关简介 欧姆龙行程开关简介

欧姆龙行程开关,位置开关(也称限位开关),是一种常用的小电流主令电器。通过生产机械运动部件的碰撞,使其触点运动,实现控制电路的连接或断开,达到一定的控制目的。通常,这种开关用于限制机 ...

欧姆龙plc的常见问题解答 欧姆龙plc的常见问题解答

1.CP1H的USB驱动怎么安装?   计算机通过USB电缆连接CP1H(通电),PC会自动提示找到新硬件,并提示要求安装驱动程序,客户通过浏览,指定USB驱动所在文件夹即可。   2.CP1H的内置USB口能用 ...

欧姆龙继电器的常见故障处理方法 欧姆龙继电器的常见故障处理方法

一、接触点松脱回裂开   接触点是欧姆龙继电器进行转化负载的电触碰零部件,一些产品的接触点是靠铆装压相互配合的,其要害的弊端是接触点松脱、接触点裂开或标准部位误差过大。这将危害继电 ...

欧姆龙C系列PLC型号及其主要含义 欧姆龙C系列PLC型号及其主要含义

欧姆龙C系列P型机有基本型、扩展型、专用型三大类,共有4种CPU主机、6种I/O近程扩展机,还有多种专用单元。   1,基本单元 基本单元(又叫主机)带有CPU   其中,C代表系列代号;(1)表 ...

欧姆龙继电器有哪些优点? 欧姆龙继电器有哪些优点?

1. 继电器虽小仍可实现它的焊接性。   SSOP/USOP封装的继电器,端子直接露出,可视性优异,安装方便。   2. 超小型、轻量:除了SSOP、USOP之外,超小型封装为设备的小型化做出贡献。   ...

欧姆龙plc安装不了是怎么回事? 欧姆龙plc安装不了是怎么回事?

1、打开cx-programmer软件;   2、使用rs232等通讯线连接PLC;   3、打开 “PLC”-》“自动在线”;-》“直接在线”;   4、选择“连接类型”,单击“连接”;   5、弹出的窗口单击 ...

欧姆龙继电器的维护注意事项 欧姆龙继电器的维护注意事项

1.在欧姆龙继电器运行中,如若发现有异常声响或者其它异常现象,应立即停止运行,通知专业的检修人员前来检修,待故障排除后方可投入正常的运行。   2.在维护过程中,检查弹簧是否有变形、老 ...

欧姆龙plc维修过程中的常见问题及处理方法 欧姆龙plc维修过程中的常见问题及处理方法

一、CPU反常:   CPU反常报警时,应查看CPU单元衔接于内部总线上的一切器材。具体方法是顺次替换可能发作毛病的单元,找出毛病单元,并作相应处理   二、存储器反常:   存储器反常报 ...

欧姆龙微动开关常见故障及维修方法 欧姆龙微动开关常见故障及维修方法

一、 欧姆龙微动开关在日常使用当中,那么大家也经常遇到开关的盖子脱落的现象,好好的开关盖子怎么就脱落了呢?这主要的原因也是肯定大家在按键开关的操作力度过大而导致造成开关的盖子脱落的吧 ...

欧姆龙3G3JZ系列变频器具有的特点 欧姆龙3G3JZ系列变频器具有的特点

1、标准配置有RS485接口,Modbus总线通信功能;   2、3Hz时可提供150%以上转矩输出,快速启动;   3、2-15KHz载波频率可调,能够实现静音驱动;   4、搭载简易节能功能;   5、有控 ...

欧姆龙plc的设备拆装顺序及方法 欧姆龙plc的设备拆装顺序及方法

(1) 停机检修,必须两个人以上监护操作;   (2) 把CPU前面板上的方式选择开关从“运行”转到“停”位置;   (3) 关闭PLC供电的总电源,然后关闭其它给模坂供电的电源;   (4) ...

欧姆龙非接触式温度传感器给工作和生活带来便利 欧姆龙非接触式温度传感器给工作和生活带来便利

欧姆龙近年来推出了MEMS非接触式温度传感器,其融入的科技把未来的智能生活逐渐在我们眼前呈现出来。接下来就让我们进一步了解欧姆龙MEMS非接触式传感器,深切感受一下未来的工作和生活中即将给 ...

欧姆龙plc的日常维护 欧姆龙plc的日常维护

1、安装有PLC的电气控制柜要有整洁干燥的环境。内部应安放吸湿干燥物,并防止冷却液,油雾的飞溅。   2、无论系统工作或者停机状态下,电器柜门要始终处于关闭状态,保持电器部件有良好的密 ...

【欧姆龙行业案例】机器人在汽车高压油泵组装线上的应用 【欧姆龙行业案例】机器人在汽车高压油泵组装线上的应用

设备概况   高压油泵(简称:HDP)是驱动汽车发动机燃油压力的主要动力来源。   “高压油泵机器人全自动组装线”主要实现高压油泵上各组件的智能供料以及机器人对各组件的自动组装。   工 ...

欧姆龙继电器使用须知 欧姆龙继电器使用须知

一.欧姆龙继电器应安装在常温常湿,通风良好的环境下,且安装环境中没有可燃性气体、粉尘等危险性因素,确保欧姆龙继电器在投入之后能够正常使用。   二.选用的欧姆龙继电器应与实际的需求相 ...

欧姆龙继电器——继电器的主要作用有哪些? 欧姆龙继电器——继电器的主要作用有哪些?

(1)扩大控制范围:例如,多触点继电器控制信号达到某一定值时,可以按触点组的不同形式,同时换接、开断、接通多路电路。   (2)放大:例如,灵敏型继电器、中间继电器等,用一个很微小的 ...

欧姆龙继电器如何选购? 欧姆龙继电器如何选购?

1、选择电磁式继电器线圈的额定工作电流:用晶体管或集成电路驱动的直流电磁继电器,其线圈额定工作电流(一般为吸合电流的2倍)应在驱动电路的输出电流范围之内。   2、选择电磁式继电器接点 ...

欧姆龙plc的常见问题及解决方法 欧姆龙plc的常见问题及解决方法

1. 欧姆龙plc连接不上电脑   PLC与电脑连接不上有硬件和软件两大方面的原因。   硬件原因有:接口类型不匹配(如USB、RS232、RS422、RS485、CAN等,两边应相同。不同的话,要用相应的转换器), ...

栏目导航
客服中心

在线咨询:QQ


联系方式联系方式

联 系 人:黄经理

联系QQ:3271883383

联系电话:13522565663


扫码添加微信(手机端请先保存图片)

工作时间工作时间

工作日:9:00-17:00

节假日:仅处理紧急事件

Contact us

联系我们

联系电话 QQ咨询
QQ咨询

3271883383

公司地址
返回顶部