| 主装置 / 扩展装置 | 子机 |
| 显示 | 最小显示单位 | Z 轴 | 10 µm *1 |
| X 轴 | 50 µm *1 |
| 显示范围 | Z 轴 | ±999.99 至 ±999 mm (4 段可选) *1 |
| X 轴 | ±999.95 至 ±999 mm (4 段可选) *1 |
| 工具 | 扫描模式 | 高度、高度差、区域高度、针脚高度、MAX/MIN、高度面积、黑白面积、宽度、高度差运算、厚度运算、位置修正、1 轴边缘修正、2 轴边缘修正 |
| （最大设定数）判断工具：16 个工具、位置修正工具：1 个工具*2 |
| 直线模式 | 高度（AVE/MAX/MIN）、高度差（AVE/MAX/MIN）、边缘位置、宽度 / 直径、高度差 / 宽度运算、厚度运算、位置修正、倾斜修正 |
| （最大设定数）判断工具：16 个工具 *3、位置修正工具：1 个工具、倾斜修正：1 个工具*2 |
| 其他功能 | 通用 | ZERO/ 偏移、运行中阈值变更、2 点校准、测量方向、位置修正 NG 时的测量、ZERO/ 偏移记忆、拍摄模式（HDR）、附加传感器日期时间 |
| 信息、N.O./N.C. 切换、I/O 监视器、自动调节亮度、照明（ON/OFF）、综合判断条件、NPN/PNP 切换、主机 / 子机同时输入、防止相互干扰、密码 |
| 扫描模式 | 测量距离、测量位置（小 / 标准 / 大）、测量模式、去除测量干扰、拍摄模式（高增益）、 |
| 倾斜修正（可选固定、实时修正）、减少光晕、触发输入（内部 / 外部）、触发间隔、触发延迟、触发错误、 |
| 黑白柱状图功能、区域高度柱状图功能、基准面积固定、轮廓无效化、旋转范围、工具设定画面中的高度图像显示、缩放功能 |
| 直线模式 | 平均次数、激光位置调整、TIMING 输入、传感头倾斜修正（仅限固定）、测量环境光消除、HOLD 功能、报警设定、 |
| 测量方法（平均 / 最大 / 最小）、激光灵敏度调整、平均滤波器、中值滤波器、X 轴中值滤波器 |
| 输入 | 输入 | 无源触点输入 / 电压输入 可切换 |
| 无源触点输入时：ON 电压 2 V 以下、OFF 电流 0.1 mA 以下、ON 电流 2 mA（短路时） |
| 电压输入时：最大额定输入电压 26.4 V、ON 电压 18 V 以上、OFF 电流 0.2 mA 以下、ON 电流 2 mA（24 V 时） |
| 点数 | 8 点（IN1 至 IN8） |
| 功能 | IN1：外部触发↑↓ /TIMING、IN2 至 IN8：可分配任意功能使用 |
| 可分配的功能 ：程序切换、停止发光、ZERO/ 偏移（批量）、复位（仅限错误）、复位（仅限判断值）、复位（判断值 & 错误） |
| 输出 | 输出 | 集电极开路输出 NPN/PNP 可切换、N.O./N.C. 可切换 |
| NPN 集电极开路输出时：最大额定值 26.4 V 50 mA（连接子机使用时为 20 mA）、残余电压 1.5 V 以下 |
| PNP 集电极开路输出时：最大额定值 26.4 V 50 mA（连接子机使用时为 20 mA）、残余电压 2 V 以下 |
| 点数 | 10 点（OUT1 至 OUT10） |
| 功能 | 可分配任意功能使用 |
| 可分配的功能：综合判断结果（全部 OK/ 任意 OK/NG）、运行、BUSY、错误、位置修正结果、倾斜修正结果、各工具的逻辑运算结果、 |
| 黑白面积 / 高度面积工具结果（OK/NG）、高度 / 高度差 /MAXMIN/ 运算工具结果（OK/NG/HIGH/LO）、报警 |
| 模拟电压输出 | 无 |
| 模拟电流输出 |
| 程序数量 | 32 个程序 |
| 统计信息 | 扫描模式：测量值 / 一致度（MAX、MIN、AVE）、处理时间（最新值、MAX、MIN、AVE）、计数（OK 数 /NG 数 / 触发数） |
| 直线模式：测量值 / 一致度（MAX、MIN、AVE）、计数（OK 数 /NG 数 / 判断次数）*1 *4 |
| 检测记录 | 保存数量 | 扫描模式 | 50 张 (FTP 客户端功能: 有效/高分辨率模式: 有效) |
| 80 张 (FTP 客户端功能: 有效/高分辨率模式: 无效) |
| 70 张 (FTP 客户端功能: 无效/高分辨率模式: 有效) |
| 100 张 (FTP 客户端功能: 无效/高分辨率模式: 无效) |
| *5 |
| 直线模式 | 400 张 (FTP 客户端功能: 有效/高分辨率模式: -) |
| 500 张(FTP 客户端功能: 无效/高分辨率模式: -) |
| *5 |
| 保存条件 | 仅限 NG/ 全部 可选择 *5 |
| 图像数据传输（FTP 客户端功能） | 传输目标 | FTP 服务器 |
| 传输格式 | bmp/jpeg/txt 可选择 |
| 传输条件 | 4 项条件 |
| 全部 / 综合判断结果（OK/NG）/ 各工具结果（OK/（NG 及 ALM））/ 各工具的逻辑运算结果（OK/NG） 可选择 |
| Ethernet | 规格 | 无 *6 |
| 连接器 |
| 支持接口 | CC-Link、DeviceNetTM、EtherNet/IPTM、EtherCAT® 、RS-232C、BCD 输出、TCP/IP 无协议通信 *7 |
| 可连接台数 | 主机 1 台、子机 1 台、通信单元（DL）1 台 |
| 额定 | 电源电压 | 由主机供给 |
| 消耗电流 | 最大 1.9 A 以下（仅限使用主机时：0.8 A 以下、增设子机时：1.9 A 以下）（输出负载除外）*8 |
| 环境抗耐性 | 环境温度 | 0 至 +50°C（无冻结） |
| 相对湿度 | 35 至 85%RH（无凝结） |
| 材质 | 主机壳体：PC/ 电源连接器：PA、POM/ 模拟输出连接器：PA、POM/I/O 连接器：PA/ |
| 传感头连接器：锌 +Ni 镀层、PA/Ethernet 连接器：铜合金 +Ni 镀层 / 主机背面散热板：铝 / |
| 主机背面 DIN 导轨固定卡扣：POM/ 铭牌 ：PC |
| 重量 | 约 190 g |
*1 显示在 IX 用触控面板或电脑软件中。
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