日本SMC 水冷式深冷器/高性能型 HRW

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: SMC

产品介绍说明
工厂循环水的直接热交换器

・用于在无需冷冻机的温度范围内进行温控

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业

・符合UL, SEMI规格及CE标识

・可选择变频型


系列
设定温度
范围
冷却能力
温度
稳定性
冷却方式
循环液
HRW
20~90℃
2kW, 8kW
15kW, 30kW
±0.3℃
水冷却式
(无冷冻机)
氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

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