日本SMC 温控器/高性能变频型 HRZ

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: SMC

产品介绍说明
在HRZ系列的高性能基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大

・用于刷新循环块的半导体装置等,可平缓地对应过程条件的变化

・符合UL, SEMI规格及CE标识

系列
设定温度
范围
冷却能力
温度
稳定性
冷却方式
循环液
HRZ
-20~90℃
10~60℃
10kW
±0.1℃
水冷冷冻式
氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)
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