尼得科/Nidec 设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人本体 SR8220

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：尼得科/Nidec

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品牌:
尼得科/Nidec

产地:
美国

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型号:
SR8220

产品简介
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。

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产品介绍说明

通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。

特点：・采用2ARM构造增大了搬运范围・实现了晶圆的高速传输和双片同取放・确保了超高的直线精度・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求・可同时适用于2——8英寸包括12英寸的晶圆的搬送

自由度	4-AXES
可动范围「R1/R2轴」(㎜)	Short：-265 ～+245/Standard：-212～+321/Long:-319 ～+447
可动范围「Z轴」(㎜)	300/400/450/600
可动范围「θ轴」(deg)	340
最大速度「R1/R2轴」(rad/sec)	5.76
最大速度「Z轴」(㎜/sec)	450
最大速度「θ轴」(rad/sec)	6.97
最大速度「最大可搬重量」(kg)	2
最大速度「重复精度」(㎜)	+/-0.1
最大速度「本体重量」(kg)	60/70/85
最大速度「控制器」	SC5000
产品搬运公司	日本电产三協

公司一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌，携手共创美好明天！公司本着信誉、服务至上的理念，热诚欢迎新老顾客来电咨询、实地考察、洽谈业务！

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