尼得科/Nidec 设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体 SR8220

发布时间:2021-10-28 14:58:49|来源: 尼得科/Nidec

  • 品牌:
    尼得科/Nidec
    产地:
    美国
    价格:
    请联系客服
    货期:
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    型号:
    SR8220
    产品简介
    通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。
产品介绍说明
通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点: ・采用2ARM构造增大了搬运范围・实现了晶圆的高速传输和双片同取放・确保了超高的直线精度・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求・可同时适用于2——8英寸包括12英寸的晶圆的搬送

自由度4-AXES
可动范围「R1/R2轴」(㎜)Short:-265 ~+245/Standard:-212~+321/Long:-319 ~+447
可动范围「Z轴」(㎜)300/400/450/600
可动范围「θ轴」(deg)340
最大速度「R1/R2轴」(rad/sec)5.76
最大速度「Z轴」(㎜/sec)450
最大速度「θ轴」(rad/sec)6.97
最大速度「最大可搬重量」(kg)2
最大速度「重复精度」(㎜)+/-0.1
最大速度「本体重量」(kg)60/70/85
最大速度「控制器」SC5000
产品搬运公司日本电产三協

公司一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创辉煌,携手共创美好明天!公司本着信誉、服务至上的理念,热诚欢迎新老顾客来电咨询、实地考察、洽谈业务!
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